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微波集成电路AL2O3基片项目可行性研究方案
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微波集成电路AL2O3基片项目可行性研究方案
目录
TOC\h\z1344序言 3
15244一、工艺方案的选择 3
30901(一)、基本要求 3
4736(二)、典型工艺技术介绍 5
15610(三)、微波集成电路AL2O3基片项目组成 6
21229(四)、工艺技术方案的选择 7
6691(五)、工艺技术方案的设计 9
3526二、微波集成电路AL2O3基片项目建设单位基本情况 10
27069(一)、微波集成电路AL2O3基片项目建设单位基本情况 10
14628
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