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第一章 修理操作前的各项预备工作
修理操作的先决条件
使用工具
其次章 照明系统修理程序
超高压汞灯电源特别
照明均匀性特别和曝光功率降低第三章 硅片传输系统的修理程序
硅片传输系统的真空特别
OF检测失灵
预对准工作特别
上下片臂定位不良
〔以上全部修理程序请参考微高公司供给的修理手册〕第一章 修理操作前的各项预备工作
修理操作的先决条件能进展操作和精读检验
能够使用示波器照度计等测量仪器留意大事：抽出电路板时，请先关断电源
拿起电路板时请勿用手指接触链接点
翻开或关断掌握单元电源时，先将掌握计算机正确关闭对光学系统进展清洁处理时，请务必戴上干净手套
使用工具
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工具
专注地铁、铁路、市政领域安全管理资料的定制、修改及润色，本人已有7年专业领域工作经验，可承接安全方案、安全培训、安全交底、贯标外审、公路一级达标审核及安全生产许可证延期资料编制等工作，欢迎大家咨询~
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