半导体器件 微电子机械器件 第40部分：MEMS惯性冲击开关阈值测试方法.pdf

半导体器件微电子机械器件

第40部分MEMS惯性冲击开关阈值测试方法

1范围

本文件规定了MEMS惯性冲击开关阈值的测试条件和测试方法。

本文件适用于常开型MEMS惯性冲击开关。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

MEMS惯性冲击开关micro-electromechanicalinertialshockswitch

采用MEMS技术加工制作，并在规定大小的加速度作用下通过固定电极和可动电极的接触、分离实

现闭合、断开功能的器件。也称为阈值开关、加速度开关或者g值开关。

标引序号说明

1——可动电极

2——固定电极

3——弹簧

4——衬底

图1MEMS惯性冲击开关示意图

3.2

常开型MEMS惯性冲击开关normallyopenmicro-electromechanicalinertialshockswitch

在规定大小的加速度作用下，从断开状态转变为闭合状态且在加速度消失后恢复到断开状态的

MEMS惯性冲击开关。

3.3

1

闭合状态closedstate

MEMS惯性冲击开关可动电极与固定电极接触。

3.4

断开状态openstate

MEMS惯性冲击开关可动电极与固定电极分离。

3.5

静态阈值staticthreshold

在恒定加速度作用下，使常开型MEMS惯性冲击开关闭合的匀加速度值。

3.6

动态阈值dynamicthreshold

在冲击脉冲加速度作用下，使常开型MEMS惯性冲击开关闭合的冲击加速度值。

3.7

接触电阻contactresistance

MEMS惯性冲击开关闭合时，固定电极与可动电极之间的电阻大小。

3.8

无线采集系统wirelessgathersystem

采用无线通讯的方式采集数据的系统。

4基本特性

4.1推荐工作条件

下面测试条件宜在详细规范中规定，除非相关采购规范中规定。

a)温度：-20℃~50℃；

b)相对湿度：20%RH~80%RH；

c)大气压力：试验场地大气压力。

4.2性能参数

开关阈值性能参数如表1所示。

表1性能参数

性能参数符号开关状态测试方法

最小值a≤a，断开见5.2

11

静态阈值

最大值a≥a，闭合见5.2

22

接触电阻R满足产品技术要求，闭合见5.2

动态阈值最小值b≤b，断开见5.3

11

2

最大值b