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蚀刻速率的影响因素及操作
2024-01-24
目录
蚀刻速率基本概念
影响蚀刻速率因素
蚀刻操作过程
蚀刻速率控制方法
常见问题及解决方案
总结与展望
01
蚀刻速率基本概念
Chapter
蚀刻速率是指在单位时间内，蚀刻剂对材料表面的去除量，是表征蚀刻过程快慢的重要参数。
蚀刻速率的大小直接反映了蚀刻过程的效率，对于优化蚀刻工艺、提高生产效率具有重要意义。同时，蚀刻速率的稳定性也是评价蚀刻过程可控性和重复性的重要指标。
蚀刻速率定义
蚀刻速率意义
蚀刻速率的常用单位有微米/分钟（μm/min）、纳米/秒（nm/s）等，表示单位时间内材料表面的去除量。
不同单位之间可以进行换算
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