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第二章CF制法分类和工艺流程第二章CF制法分类和工艺流程TN模式的制造工艺是最基础的，下面详细介绍其工艺流程：第二章CF制法分类和工艺流程曝光PW玻璃清洗显影R光阻涂布RPR+PRBM光阻涂布显影G光阻涂布GPR曝光曝光显影B光阻涂布BPR曝光显影O/CO/CSputteringITOPS光阻涂布PSPR曝光显影CF成品第二章CF制法分类和工艺流程ITEMMainProcessConditionControlItemCleaningType:Brush，CJ，UV；Flow；Pressure；ParticleNumberCoatingCoatingType:SpinorSpin/SlitorSlit；CoatingSpeed；FilmThicknessUniformityPreBakeTemperature；Time；PRStiffnessExposureGap；Dose；Temperature；Accuracy,TotalPitchDeveloperChemicalTypeConcentration:KOH,Na2CO3；Temperature；Time；PRresidualPostBakeTemperature；Time；AdhesiveForceBetweenGlassandPRSputteringTemperature；Pressure；Power；VacuumlevelFilmThickness;Transmittance;Resistance*B2ProjectTeamChangelifewithheart*B2ProjectTeam*B2ProjectTeam*B2ProjectTeam*B2ProjectTeam*B2ProjectTeam*B2ProjectTeam*B2ProjectTeam*B2ProjectTeam*B2ProjectTeam*B2ProjectTeam*B2ProjectTeam第一章CF的基本原理和结构CF（ColorFilter）是用来实现彩色显示的主要器件，在色光中存在三种最基本的色光，它们的颜色分别为红色、绿色和蓝色。这三种色光以不同比例混合，几乎可以得到自然界中的一切色光；而且这三种色光具有独立性，其中一种原色不能由另外的原色光混合而成，由此，我们称红、绿、蓝为色光三原色。在TFT-LCD中，ARRAY基板上每个TFT控制一个亚像素（也叫子像素，Sub-pixel)上方的液晶分子的扭曲程度，以此来调整亚像素的透光量；每三个亚像素分别透过红光、绿光和蓝光，并合成一个显示像素（Pixel)。由于每个像素透过的红光、绿光和蓝光的比例都是不同的，因此合成的颜色也是不同的，从而形成彩色显示。液晶盒的基本结构见下图所示：其中CF的基本构成为BM层，RGB色层，OverCoat层，ITO导电层及支撑盒厚的隔垫物。玻璃基板配向膜偏光片玻璃基板偏光片液晶层彩色层薄膜晶体管黑矩阵保护层ITO导电膜第一章CF的基本原理和结构第二章CF制法分类和工艺流程彩膜的制造工艺一般有染色法、电沉积法、印刷法、喷墨法和颜料分散法。各工艺的简单流程如下图所示：染色法电沉积法印刷法颜料分散法GelatinhνITOResisthν感光性colorResisthν喷墨法比较项目染色法电沉积法印刷法喷墨法颜料分散法着色剂染料颜料颜料染料/颜料颜料成膜膜厚1.0~2.5?1.5~2.5?1.0~3.0?1.0~2.5?1.5~2.5?分辨率10~20?10~20?50~80?10~20?10~20?色特性非常优秀普通优秀优秀优秀耐热性普通优秀优秀普通优秀耐光性普通非常优秀非常优秀普通非常优秀耐化学性不好优秀优秀优秀优秀平坦性优秀非常优秀不好普通优秀大型化的可能性优秀普通不好不好优秀第二章CF制法分类和工艺流程各种制法的特点比较见下表。现在国际上被广泛使用的是颜料分散法。依据不同显示模式颜料分散法的工艺流程也有所区别，见下表所示：第二章CF制法分类和工艺流程ModeProcessFlow