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PVD和CVD无机薄膜沉积方式大全,肯定有你不知道的.....
无机薄膜沉积方式
在FDP的生产中,在制作无机薄膜时可以承受的方法有两种:PVD和CVD(本文跟从众多资料的分类法,将VE和VS归于PVD而ALD归于CVD)。
PhysicalVaporDeposition(PVD)
PhysicalVaporDeposition(PVD)亦称为物理气象沉淀技术。该技术在真空条件下,通过先将材料源〔固体或液体〕外表气化成气态原子、分子或局部电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体外表沉积具有某种特别功能的薄膜的技术。
PVD
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