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W2P.028
MODIFICATIONOFADHESIONFORCESINMULTIPLELAYERSOFTRANSITION
METALDICHALCOGENIDESUSINGILLUMINATIONFORMICRO-ACTUATORS
N.I.MouandM.Tabib-Azar
ElectricalandComputerEngineeringDepartment,UniversityofUtah,SaltLakeCity,UT,USA
programmablecharacteristics.Wearealsointerestedin
Surfaceadhesionforcesinfewlayersoflayeredtransitionfindingmaterialswithreducedsurfaceadhesionforcesto
metaldichalcogenides(ReS,NbS,n-typeWSe,MoS,p-designscaled[11]-[12]NEMSswitcheswithnegligible
2222
typeMoSe,TaS)hexagonalBN(hBN)andgraphenewerehysteresisormemory.
22
determinedusingatomicforcemicroscopewithconductingHerewecomparethesurfaceadhesionforcesmeasured
usingaSiAFMprobeofReS,NbS,WSe,MoS,MoSe,
silicontipindarkandunderilluminationtoidentify22222
hexagonalBN,TaS,graphene,SiOandAuthinfilm.The
materialforintegratedopticalsensorinNEMS/MEMS22
switches.Inallcasesthesurfaceadhesionforcesincreasedlasttwomaterialswereusedascontrolsamplestoensure
underillumination.WSe2,anindirectbandgapwith1.66eVthattheilluminationoftheAFMsystem’squad-detectoror
energy,showedthelargest
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