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PEDCV保养作业指导书
一、简介
——翁自力
PECVD〔Piasma Enhanced Chemical Vapor Desposition〕即“等离子增加型化学气相沉积”。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子化学活性很强,很简洁发生反响,在基片上沉积出所期望的薄膜。
装载腔反响腔冷却腔装载腔A-Viton真空密封装置B-
装载腔
反响腔
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