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XPS

XPS分峰的分析实例

材料Ｘ射线光电子能谱数据处理及分峰的分析实例

例:将剂量为1107ions/cm2,能量为45KeV的碳离子注入单晶硅中,然后在1100C

退火2h进展热处理。对单晶硅试样进展XPS测试,试对其中的C

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高区分扫瞄谱

进展解析,以确定各种可能存在的官能团。分析过程:

1、在Origin中处理数据

图1

将试验数据用记事本翻开,其中C

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表示的就是C

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电子,299、4885表示起始

结合能,-0、2500表示结合能递减步长,81表示数据个数。从15842开头表示就是光电子强度。从15842以下数据选中Copy到Excel软件B列中,为光电子强度数据列。同时将299、4885Copy到Excel软件A列中,并依据步长及个数生成结合能数据,见图2

图2

将生成的数据导入Origin软件中,见图3。

图3

此时以结合能作为横坐标,光电子强度作为纵坐标,绘出C谱图,检查谱图就

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是否有尖峰,假设有,那就是脉冲,应把它们去掉,方法为点Origin软件中的

Data-MoveDataPoints,然后按键盘上的?或?箭头去除脉冲。本例中的试验数据没有脉冲,无需进展此项工作。将columnA与B中的值复制到一空的记事本文档中(即成两列的格式,左边为结合能,右边为峰强),并存盘,见图4。

图4

2、翻开XPSPeak,引入数据:点Data--Import(ASCII),引入所存数据,则消灭相应的XPS谱图,见图5、图6

3、选择本底:点Background,因软件问题,HighBE与LowBE的位置最好不改,否则无法再回到Origin,此时本底将连接这两点,Type可据实际状况选择,一般选择Shirley类型,见图7。

图7

4、加峰:

点Addpeak,消灭小框,在PeakType处选择s、p、d、f等峰类型(一般选s),在Position处选择期望的峰位,需固定时则点fix前小方框,同法还可选半峰宽(FWHM)、峰面积等。各项中的constraints可用来固定此峰与另一峰的关系。点Deletepeak可去掉此峰。然后再点Addpeak选其次个峰,如此重复。

在选择初始峰位时,假设有前人做过相像的试验,可以查到相应价键对应的峰位最好。但就是假设这种试验方法比较,前人没有做过相像的,就先用标准的峰位为初始值。最优化全部的峰位,然后瞧峰位位置的变化。

本例中加了三个峰,C元素注入单晶硅后可能形成C-C、C-Si与C-H三个价键。依据这三个价键对应的结合能确定其初始峰位,然后添加。具体过程见图8、9、10。

图8

图9

图10

5、拟合。选好所需拟合的峰个数及大致参数后,点Optimiseregion进展拟合,观看拟合后总峰与原始峰的重合状况,如不好,可以屡次点Optimiseregion。最终拟合结果见图11。

图11

6、参数查瞧。拟合完成后,分别点另一个窗口中的RigionPeaks下方的0、1、

2等可瞧每个峰的参数,此时XPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不region满足,可转变这些峰的参数,然后再点Optimise。

7、点击SaveXPS存图,下回要翻开时点OpenXPS就可以翻开这副图连续进展处理。

8、数据输出。

点击Data――Printwithpeakparameters,可打印带各峰参数的谱图,通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。

点击Data――Exporttoclipboard,则将图与数据都复制到了剪贴板上,翻开文档(如Word文档),点粘贴,就把图与数据粘贴过去了。

点击Data――Export(spectrum),则将拟合好的数据存盘,然后在Origin中从多列数据栏翻开,则可得多列数据,并在Origin中作出拟合后的图。

XPS能谱数据处理

王博吕晋军齐尚奎

能谱数据转化成ASC码文件后可以用EXCEL、ORIGIN等软件进展处理。这篇文章的目的就是向大家介绍用ORIGIN软件如何处理能谱数据,以及它的优势所在。

下面将分三局部介绍如何用ORIGIN软件处理能谱数据:1、多元素谱图数据处理2、剖面分析数据处理3、简单谱图的解叠

一、多元素谱图的处理:

1、将ASC码文件用NOTEPAD翻开:

元素名称

元素名称

X轴起始点

X轴步长

采集的数据点

Y轴数值

总数

2、复制Y轴数值。翻开ORIGIN,将Y轴数据粘贴到B(Y