YS_T 1703-2024《晶片包装片盒表面颗粒的测试 液体颗粒计数法》.pdf

ICS77.040

CCSH17YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/TXXXX—XXXX

晶片包装片盒表面颗粒的测试

液体颗粒计数法

Testmethodforsurfaceparticleofwaferbox

—Liquidparticlecountmethod

（报批稿）

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/TXXXXX-XXXX

晶片包装片盒表面颗粒的测试

液体颗粒计数法

1范围

本文件规定了液体颗粒计数仪测试晶片包装片盒表面颗粒的方法。

本文件适用于直径100mm、125mm、150mm、200mm、300mm的硅抛光片、硅外延片、SOI片及其

包括锗单晶片、砷化镓单晶片、磷化铟单晶片、碳化硅单晶片、蓝宝石单晶片等）

他材质的半导体晶片（

包装片盒颗粒洁净度的测试。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T11446.1—2013电子级水

GB/T14264半导体材料术语

GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

3术语和定义

GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

片盒waferbox

由盒底和盒盖组成的带有装载晶片片篮的封闭容器，用于贮存和运输晶片。

4原理

使用纯水对片盒盒盖内表面、片篮表面、盒底内表面进行淋洗，片盒表面的颗粒被收集到淋洗液中，

用液体颗粒计数仪采用光散射法原理测试淋洗液中的颗粒，得到测试片盒表面的颗粒含量。

5干扰因素

5.1测试环境洁净度等级会对测试结果产生干扰，测试环境空气洁净度等级等同或优于GB/T

25915.1-2021规定的ISO5级。

5.2外界环境对包装片盒会产生污染，待测的包装片盒在测试前应使用包装袋密封。

5.3测试结果受测试仪器稳定性的影响，应定期对测试仪器进行校准。

5.4测试结果受纯水淋洗力度的影响，建议纯水淋洗管是内径为2.4mm的四氟软管，纯水淋洗流量设

为（135±5）mL/min。

6试剂或材料

1

YS/TXXXXX-XXXX

测试用纯水应等同或优于GB/T11446.1-2013中规定的EW-Ⅱ等级指标，或由供需双方共同协商确

定。

7仪器设备

7.1采样流量为60mL/min的液体颗粒计数仪。

7.2测试颗粒粒径通道为≥0.2μm、≥0.3μm和≥0.5μm，或具有更小测试粒径的液体颗粒计数

仪。

8样品

8.1直径为100mm、125mm、150mm、200mm、300mm晶片包装片盒。

8.2待测包装片盒无破损、裂纹。

9试验步骤

9.1根据不同直径的包装片盒来选定测试纯水用量。纯水用量参见下表。

表1纯水用量

纯水用量

包装片盒直径