干式真空泵在半导体及新能源领域的应用及发展趋势 2024.docx

目前真空泵的发展越来越受到真空应用环境要求的影响，很多新兴产业及高新技术产业的制造过程中所需的真空系统，需要具备抽除腐蚀性气体、粉尘颗粒物、有毒气体、无油污染等功能，因此由油封泵组成的真空抽气系统无法满足生产工艺要求。而干式真空泵是一种理想的泵种，以其抽速范围宽、抽气腔内无油及元件无摩擦、能耗低、耐腐蚀等优点得以广泛推广应用，如今已经成为微电子、半导体、精密加工、新能源装备等行业首选的真空获得设备。因此近年来干式真空泵市场需求量越来越大，真空获得产品已经出现更新换代的趋势，大量的有油真空系统被无油真空系统所替代。