PLD设备安装、调试及维护操作规程..docx

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PLD设备安装、调试及维护操作规程

(一)沉积室的拆卸与加热灯的更换

1、法兰〔frange〕的拆卸与安装

对称松动法兰盘上的螺栓，取出螺栓，拿下法兰盘和密封圈〔gasket，Cu材料〕。更换的密封圈，用酒精清洗干净法兰与密封圈，观看外表是否干净、光滑且无明显划痕，然后装好法兰与密封圈，对称上好螺栓。先用手拧紧，再用扳手轻轻拧紧〔严禁用死力，每次每个螺栓拧紧约1/8周，顺时针拧紧螺

栓，共循环4~6次〕。

2、排解基板加热系统内的冷却水

翻开空气压缩机，通过压力表调整气体总压力为0.5MPa，通过拉下旋钮调整排水用的气体压力到

0.05MPa。关掉冷却机，停顿冷却水循环，翻