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ICS23.160
J78
中华人民共和国国家标准
GB/T40344.1—2021/ISO21360-1:2020
真空技术真空泵性能测量标准方法
第1部分:总体要求
Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pump
performance—Part1:Generaldescription
(ISO21360-1:2020,IDT)
2021-08-20发布2022-03-01实施
国家市场监督管理总局发布
国家标准化管理委员会
GB/T40344.1—2021/ISO21360-1:2020
目次
前言Ⅲ
引言IN
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4符号3
5测试方法4
5.1流量法测量体积流率(抽速)4
5.1.1概述4
5.1.2流量法的测试罩4
5.1.3测试装置5
5.1.4体积流率的测定6
5.1.5测量步骤7
5.1.6测量不确定度7
5.1.7测量评估7
5.2小孔法测量体积流率(抽速)7
5.2.1概述7
5.2.2小孔法的测试罩8
5.2.3测量装置8
5.2.4体积流率的测定9
5.2.5小孔法测量步骤9
5.2.6压力测量仪表的调整10
5.2.7体积流率的测量10
5.2.8测量不确定度10
5.2.9测量评估10
5.3抽气法测量体积流率(抽速)11
5.3.1概述11
5.3.2抽气法的测试罩12
5.3.3速动阀12
5.3.4测量装置12
5.3.5体积流率的确定12
5.3.6测量步骤14
5.3.7适用范围14
5.3.8测量评估14
5.3.9测量不确定度14
5.4基础压力测量14
5.4.1运行条件14
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