一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1696604A

(43)申请公布日2005.11.16

(21)申请号CN200510018927.9

(22)申请日2005.06.16

(71)申请人华中科技大学

地址430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

(72)发明人史铁林白金鹏谢勇君刘世元王海珊

(74)专利代理机构华中科技大学专利中心

代理人曹葆青

(51)Int.CI

G01B11/00

G01B9/02

G01N13/10

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

一种具有环境加载功能的微机电系

统动态特性测量装置

(57)摘要

本发明公开了一种具有环境加载功

能的微机电系统动态特性测量装置，在调

整平台上设置有环境加载装置，其结构

为：压电陶瓷可调节式安装于支架内，支

承板固定在支架上；加热板固定在支承板

上，支架固定在真空腔体上，真空腔体上

设置有透光片；被测器件位于环境加载装

置上。本发明采用光路转折、聚焦透镜平

移使得测量装置结构紧凑，便于调整；利

用环境加载装置对振动、温度、和压力进

行精确控制，使得测量装置能测量不同环

境条件下的微机电系统动态特性。测量装

置所采用的微视觉、相移干涉、频闪照明

和环境加载可以完成不同环境条件下的微

机电系统器件或圆片的三维高分辨率测

量、静动态参数提取。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1、一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置，该装置中的相移控制

器、图像采集模块、延时控制模块和信号发生模块分别通过第一、第二控制接口与

计算机相连；计算机控制信号发生模块产生脉冲信号，经延时控制模块延时后传送

给光源系统，使其发出频闪光；信号发生模块同时为被测器件提供驱动信号；延时

控制模块实现频闪脉冲信号和被测器件驱动信号的相对延时；相移控制器控制相移

器带动参考平面镜移动，调节光程差，实现干涉图相位的变化；计算机控制成像采

集模块采集成像装置上的图像；其特征在于：

在调整平台(16)上设置有环境加载装置(15)，其结构为：压电陶瓷(35)可调节式安装

于支架(36)内，支承板(44)固定在支架(36)上；加热板(42)固定在支承板(44)上，支

架(36)固定在真空腔体(32)上，真空腔体(32)上设置有透光片(40)。

2、根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述干涉视觉两用光路模块(10)的

结构为：

光源系统(9)发出的偏振平行光经聚焦透镜(17)焦距，经转折镜(18)将光轴旋转90度

后，经偏振分光棱镜(19)分为相互垂直的两束线偏振光：参考光和测量光；参考光

聚焦于第二显微物镜(23)后变为平行光，射向参考平面镜(12)，偏振分光棱镜(19)与

参考平面镜(12)之间设置有第二1/4波片(22)；参考光的反射光经原路返回至偏振

分光棱镜(19)，沿垂直方向依次经过成像透镜(24)和检偏器(25)射向成像装置(5)，

成像装置(5)位于成像透镜(24)的后焦平面；测量光聚焦于第一显微物镜(21)后变为

平行光，射向被测器件(14)，偏振分光棱镜(19)与被测器件(14)之间设置有第一1/4

波片(20)；测量光的反射光经原路返回至偏振分光棱镜(19)，再依次经过成像透镜

(24)和检偏器(25)射向成像装置(5)；测量光和参考光的反射光在成像装置(5)焦平面

上产生干涉，形成明暗相间的干涉条纹，使测量装置在干涉模式下工作；

遮光闸(11)位于第二显微物镜(23)与参考平面镜(12)之间，用于遮住射入参考平面镜

(12)的光线，使测量装置在视觉模式下工作。

说明书

技术领域

本发明属于显微干涉计量仪器技术，适用于不同环境条件下微机电系统几