PECVD法制备微晶硅薄膜材料及太阳能电池.docx

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PECVD法制备微晶硅薄膜材料及太阳能电池

暨南大学硕士学位论文?PECVD法制备微晶硅薄膜材料及太阳能电池?摘要

微晶硅电池已经成为目前光伏领域争论的焦点。同非晶硅相比微晶硅电池几乎没有?SWE?问题,应用在电池中也几乎不受后氧化的影响,而且微晶硅的光谱吸取特性与非晶硅有肯定的互补性,应用于叠层电池中可以获得更高效率的电

池。

基于这个目的,我们承受RF?PECVD技术制备了P、I、N三层薄膜材料和微晶

太阳电池,并对它们的构造特性和电学特性进展了分析。本论文主要进展了如

几方面的工作:?

P层作为微晶硅薄膜太阳电池的窗口层,必需具备宽的光学带隙和高的电

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