VCP电镀线操作指引.docx

《WI》作业文件封面

文件名称文件编号制定/日期审核/日期批准/日期

1#VCP电镀线操作指引

YF03-ME-20

文件修订履历记录

版本号制定部门

A

工艺部

版次

A/0

页数

8 发行

修订内容 日期

2023-01-20

相关联部门会签

部门 生产部 工艺部 品质部

签名

1、目的

本文件目的是为VCP电镀线建立操作指示，指导操作员工正确操作，保证VCP电镀线生产顺畅、品质稳

定。

0

1#VCP电镀线操作指引

文件编号文件版本页次

XB03-ME-20

A/0

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2、范围

适用于厂内东威VCP电镀线。

3、参考文件无

4、定义

无

5、职责

生产部：负责依文件进展日常操作，并依据文件标准管控工作参数/条件；

工艺部：负责为生产中消灭的问题供给技术支援、标准掌握文件制定；

设备部：负责为各生产设备供给保养及修理效劳；

品质部：负责流程参数、操作的监控，品质确认。6、主要物料

主要物料

物料名称LH401C

硫酸50%

铜球硫酸铜

CU-ST20光剂

规格 备注

20L/桶

25Kg/桶

25Kg/箱

25Kg/袋

20L/桶

CU-ST20调整剂68%硝酸

设备力量

工程做板尺寸

做板厚度电流密度喷流大小作业速度

20L/桶

30Kg/桶

力量

Min：335mm〔高度〕Max：635mm〔高度〕

0.10mm～3.0mm1～42ASF

0～50HZ

0.4～2.0m/min

7、作业内容：

流程

上料→清洁→水洗1→水洗2→微蚀→水洗1→水洗2→预浸→镀铜(1-7)→水洗→水洗→预浸→镀锡→水洗1→水洗2→水洗3→烘干→下料→剥掛→剥掛后水洗→夹头刷干→上料

标准化治理工厂

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XB03-ME-20

A/0

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开关机程序：

开机总电源

开机：〔界面操作〕

翻开电源开关，开启打气泵、整流器、冰水机；

依据做板需要开启相应的温控、过滤、自动添加等；

检查相关的周边设备是否运行正常；

选择好所生产板的铜厚标准、设备的运行速度及电流密度是否正确；

设备自动运行；

将上料按钮打至“上料”，上板处的高度自动调整尺寸，开头上板作业；

关机〔界面操作〕：

当确定整线缸内无板后，按停顿按钮，使其变为停顿，则关闭设备；

关闭打气泵、整流器、冰水机等设备；

关闭相应的温控、过滤、水位报警时间，

关闭加热，整流器、冰水机等周边设备，确定自来水、DI水、抽风系统已处于关闭状态；

铜缸的“循环泵”保持常开，为防止铜粒在空气中钝化现象；

工艺参数

药水缸

掌握工程

掌握范围

开缸用量

测量技术

分析频

换缸频

名称

率

率

LH401C温度50%H2SO4

LH401C

温度50%H2SO4

4~6%

33±5℃

3-5%

8L 化验分析

仪表显示

14L 化验分析

1次/班

1次/班

1次/班

温度

常温

/

/

/

硫酸铜

50%H2SO4

55-75g/L

180-240g/L

900KG

3400L

化验分析

1次/周

氯离子

40-80ppm

2L

铜开缸剂

10ml/L

150L

/

/

铜光亮剂

5ml/L

75L

/

/

温度

22±2℃

/

仪表显示

1次/班

68%硝酸

≥40%

360L

化验分析

1次/周

预浸180L

铜槽15000L

剥掛 温度 28℃±5 / 仪表显示 温度

VCP线保养工程：

日保养

每天更换各水洗缸及酸缸。

1次/周

1次/天

/

6个月

标准化治理工厂

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XB03-ME-20

A/0

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保持各缸清洁，设备周边环境卫生清洁。

周保养：

每周清洗一次过滤泵的过滤网。

循环泵棉芯每周更换一次。

每周哈氏片调整光剂。

每周补加一次铜球，补加后必需电解，电解参数为15ASF*1H。

每周更换除油缸。

每周检测一次阳极电流，由工艺部负责，如有超出±5%，需准时通知设备部处理。

每周将药水放到副槽，检查缸内导条是否正常。

每周更换一次养板缸的过滤泵棉芯。

月保养：

每月清洁各水洗槽的挡水轮并对坏的进展更换。

每月清洗一次水洗缸及酸洗缸的喷嘴。

每3个月检查阴极铜牌及铜滑块电刷的清洁，浮板水准及垂直度。

每9个月进展一次铜缸药水碳处理。

碳处理步骤：

把槽液抽至碳处理缸内，开启加热器升温至45℃左右，边搅拌边参加3-5ml/L的双氧水，并充分搅拌2小时。

升温至60℃±5保温，连续搅拌2小时。

关闭加热，冷却至40℃，关闭循环、打气，参加3-5g/L活