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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN104630739A
(43)申请公布日2015.05.20
(21)申请号CN201510083034.6
(22)申请日2015.02.15
(71)申请人重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院
地址401329重庆市九龙坡区凤笙路15号附3号
(72)发明人于本文史浩飞徐鑫李占成钟达
(74)专利代理机构北京轻创知识产权代理有限公司
代理人杨立
(51)Int.CI
C23C16/26
C23C16/44
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
一种石墨烯生长炉管内的石英管的
清洗方法
(57)摘要
本发明涉及一种石墨烯生长炉管内
的石英管的清洗方法，包括以下步骤：步
骤一，将石墨烯生长炉的炉体升温至600-
900℃并保持恒温，同时向石墨烯生长炉内
的石英管内通入氧气，持续时间1-2小
时；步骤二，待石墨烯生长炉的炉体内温
度降至室温，使用含有硝酸铁的高岭土擦
拭石英管内壁，直至石英管内壁上的附着
物消失；步骤三，移除石英管内的高岭
土，使用沾取酒精的无尘布擦拭石英管整
个腔体；步骤四，待石英管内目检无残留
物后，向石英管内通入氮气吹扫。本发明
采用氧气燃耗的方法，除去碳物质残留，
利用机械摩擦以及化学试剂去除生长基底
物质残留，不需采购专用清洗机台，节省
不菲的设备购置费，不需拆卸炉体内石英
管，节省了设备维护时间。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
权利要求说明书
1.一种石墨烯生长炉内的石英管的清洗方法，其特征在于，包括以下
步骤：
步骤一，将石墨烯生长炉的炉体升温至600-900℃并保持恒温，同时向
石墨烯生长炉内的石英管内通入氧气，持续时间1-2小时；
步骤二，待石墨烯生长炉的炉体内温度降至室温，使用含有硝酸铁的高
岭土擦拭石英管内壁，直至石英管内壁上的附着物消失；
步骤三，移除石英管内的高岭土，使用沾取酒精的无尘布擦拭石英管整
个腔体；
步骤四，待石英管内目检无残留物后，向石英管内通入氮气吹扫。
2.根据权利要求1所述的一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法，
其特征在于，所述步骤一中通入氧气的速率为1-4L/Min。
3.根据权利要求1所述的一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法，
其特征在于，所述步骤二中含有硝酸铁的高岭土的制备方法为将高岭土放入
质量浓度为20％-60％的硝酸铁溶液中浸泡20-40分钟后取出。
4.根据权利要求1所述的一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法，
其特征在于，所述高岭土的目数为600目-1200目。
5.根据权利要求1所述的一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法，
其特征在于，所述步骤二中使用硝酸铁的高岭土擦拭石英管内壁的时间为
10-20分钟。
6.根据权利要求1所述的一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法，
其特征在于，所述步骤四中通入氮气的速率为1-4L/Min。
7.根据权利要求1所述的一种石墨烯生长炉管内的石英管的清洗方法，
其特征在于，所述步骤四中通入氮气的时间为10-30分钟。
说明书
p技术领域
本发明涉及石墨烯制备设备技术领域，尤其涉及一种石墨烯生长炉管内
的石英管的清洗方法。
背景技术
石墨烯薄膜产业化中，石墨烯生长多采用半导体产业的化学气相淀积炉
管设备，为达到工业化水平，用于石墨烯薄膜生长化学气相淀积设备炉管的
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