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静电驱动微机电系统动力学分析的若干方法;;;;;本文旨在针对静电驱动MEMS器件的动力学行为，发展一种基于高精度数值模拟和仿真技术的分析方法，以提高对其实际行为的预测精度和效率。;;;;;;微机电系统动力学模型;;;;;;;;;施加静电驱动;;;;;;THANKS
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