掺氟石英玻璃制品及其制造方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1550465A

(43)申请公布日2004.12.01

(21)申请号CN200410032419.1

(22)申请日2004.04.07

(71)申请人信越化学工业株式会社

地址日本东京都

(72)发明人阿部淳万德伸康

(74)专利代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司

代理人寿宁

(51)Int.CI

C03B37/012

C03B37/014

G02B6/00

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

掺氟石英玻璃制品及其制造方法

(57)摘要

本发明是关于一种掺氟石英玻璃制

品及其制造方法，其揭露了一种通过在氟

气气氛中烧结正在一加热区内移动的多孔

玻璃预制体来制造一种掺氟石英玻璃制品

的方法，其中进行的氟气处理是将多孔玻

璃预制体在温度为1000℃或以上的加热区

内的移动速度设定为L/V为40分钟或更

长，其中L为加热器的长度(mm)，V为移

动速度(mm/分钟)。加热区的温度可以是玻

璃化温度。氟气处理可在温度为1000℃或

以上但不进行玻璃化处理的加热区内进

行，然后可通过增加加热区的温度进行玻

璃化处理。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1、一种掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其是通过烧结在一加热区内氟

气氛下正在移动的一多孔玻璃预制体而制成，其中通过将温度为1000℃或更高的

该加热区内的该多孔玻璃预制体的移动速度设定为使L/V等于40分钟或更长进行

氟气处理，其中L是加热器的长度(mm)，V是该移动速度(mm/分钟)。

2、根据权利要求1所述的掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其中该加热

区的温度为玻璃化温度。

3、根据权利要求1所述的掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其中所述的

氟气处理是在该加热区内进行的，该加热区的温度为1000℃或更高但不进行玻璃

化处理，然后通过增加该加热区的温度进行该玻璃化处理。

4、根据权利要求3所述的掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其中所述的

氟气处理是通过将该多孔玻璃预制体在温度为1000℃或更高的该加热区内的移动

速度设定为使L/V1+L/V2等于40分钟或更长进行，同时在温度为1000℃或更高但

不进行玻璃化处理的该加热区内以一移动速度V1移动该多孔玻璃预制体，并在玻

璃化温度下的该加热区内以移动速度V2移动该多孔玻璃预制体。

5、根据权利要求1所述的掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其中所述的

多孔玻璃预制体是实芯的。

6.根据权利要求1所述的掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其中所述的多

孔玻璃预制体是空芯的。

7.根据权利要求1所述的掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其中所述的多

孔玻璃预制体是通过在一个芯棒上沉积玻璃颗粒而形成的。

8.一种掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于当在一氟气气氛中对一多孔玻璃

预制体进行加热处理时，在一炉腔内的压力为正压力。

9.根据权利要求8所述的掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其中所述的热

处理是一玻璃化处理。

10.根据权利要求9所述的掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其中所述的

玻璃化处理的温度为1350℃或更高。

11.根据权利要求8所述的掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其中所述的

正压力为10-500Pa。

12.根据权利要求8所述的掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其中所述的

热处理的进行是为了防止外部空气进入该炉腔的密封部分。

13.根据权利要求8所述的掺氟石英玻璃制品的制造方法，其特征在于其中所述的

向该炉腔内注入的气体的含水量为3ppm或更少。

14.一种掺氟石英玻璃制品，该掺氟石英玻璃制品通过