半导体器件 第14-1部分：半导体传感器 传感器总规范.pdfVIP

半导体器件

第14-1部分：半导体传感器传感器总规范

1范围

本文件规定了有关传感器规范的基本条款，是半导体传感器系列标准的其他各类型传感器规范的基

础。本文件适用于由半导体材料制造的传感器，也适用于其他材料（如绝缘和铁电材料）制造的传感器。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

IEC60027(所有部件)电气技术字母和符号（Lettersymbolstobeusedinelectrical

technology）

IEC60068-2(所有部件)环境试验第2部分:试验（Environmentaltesting-Part2:Tests）

IEC60410按属性检验的抽样计划和程序（Samplingplansandproceduresforinspectionby

attributes）

IEC60617-DB图表用图形符号（GraphicalSymbolsforDiagrams）

IEC60747-1:2006半导体器件第1部分:总则（Semiconductordevices—Part1:General）

IEC60749(所有部分)半导体器件机械和气候试验方法（Semiconductordevices―Mechanical

andclimatictestmethods）

注:GB/T4937（所有部分）半导体器件机械和气候试验方法（IEC60749，IDT）

IEC62047-1半导体器件MEMS器件第1部分:术语和定义（Semiconductordevices-

Micro-electromechanicaldevices-Part1:Termsanddefinitions）

ISO1000国际标准单位和使用其倍数和某些其他单位的建议（SIunitsandrecommendationsfor

theuseoftheirmultiplesandofcertainotherunits）

ISO2859-1按属性检验的抽样程序第1部分:逐批检验用验收质量限度(AQL)索引的抽样方案

（Samplingproceduresforinspectionbyattributes-Part1:Samplingschemesindexedby

acceptancequalitylimit(AQL)forlot-by-lotinspection）

IEC61193-2质量评估体系第2部分:电子元件和封装检验抽样计划的选择和使用（Quality

assessmentsystems-Part2:Selectionanduseofsamplingplansforinspectionofelectronic

componentsandpackages）

3术语、单位、符号和定义

3.1术语、单位和符号

IEC62047-1和以下规定的术语和定义适用于本文件。

单位符号、图形符号和字母符号推荐采用下列标准:

——IEC60027；

——IEC60617；

——ISO1000。

1

本文件所适用的器件所特有的任何其他单位、符号或术语应参考相关的IEC或ISO标准或根据上述标

准的原则推导。

表1列出了依据不同被测量、特性或检测条件对传感器进行的分类。例如，如果被测量是热量，则

测量它的是温度传感器；如果被测量是压力，则测量它的是压力传感器。按英文首字母排序，被测量可

分为：声学量、生物量、化学量、电学量、磁学量、物理量、光学量、辐射量以及热学量。表1中的每

个条目不仅代表被测量本身，而且代表了被测量在时间和空间的分布。