贴膜方法及贴膜设备.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN102173316A

(43)申请公布日2011.09.07

(21)申请号CN201010604002.3

(22)申请日2010.12.21

(71)申请人上海技美电子科技有限公司

地址201108上海市闵行区北松路3375号

(72)发明人张明星

(74)专利代理机构上海脱颖律师事务所

代理人李强

(51)Int.CI

B65B33/02

H01L21/00

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

贴膜方法及贴膜设备

(57)摘要

本发明公开了一种贴膜方法，其特

征在于，利用滚压胶膜的滚轮驱动胶膜卷

转动。使用本发明中的贴膜方法，贴膜过

程中，胶膜无需克服滚筒转动的阻力，只

需要克服胶膜层与层之间的粘力，而粘力

是非常小的，因此本发明方法与设备对胶

膜的拉力较传统做法大为减小，胶膜在长

度方向上的变形非常小，贴覆后的张力也

非常小。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

2021-12-03未缴年费专利权终止未缴年费专利权终止

2013-06-19授权授权

2011-11-16实质审查的生效实质审查的生效

2011-09-07公开公开

权利要求说明书

1.贴膜方法，其特征在于，利用滚压胶膜的滚轮驱动胶膜卷转动。

2.根据权利要求1所述的贴膜方法，其特征在于，利用可转动的滚轮压靠在胶膜上

移动，滚压覆盖在晶圆表面的胶膜使其紧密贴附在晶圆上；滚轮压靠在胶膜上移动

时，受摩擦力作用而转动；滚轮与胶膜卷同步移动且持续接触，滚轮驱动胶膜卷转

动；胶膜卷在转动同时在晶圆上方移动，胶膜卷转动时不断放出胶膜，胶膜卷移动

使放出的胶膜覆盖在晶圆上。

3.贴膜设备，其特征在于，包括支架板和第一驱动装置；支架板上安装有可转动的

滚轮和用于放置胶膜卷的支撑轴；第一驱动装置驱动支架板移动。

4.根据权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，支架板上安装有制动装置，制动

装置用于阻止滚轮转动。

5.根据权利要求4所述的贴膜设备，其特征在于，所述制动装置为气缸，气缸设置

有可伸出或缩回的输出杆，滚轮位于输出杆的移动方向上；输出杆伸长时可与滚轮

接触，阻止滚轮转动。

6.根据权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，还包括夹膜装置，所述夹膜装置

可移动地安装在支架板上，夹膜装置可与滚轮相配合夹持住胶膜。

7.根据权利要求6所述的贴膜设备，其特征在于，所述夹膜装置为弧形板，弧形板

通过第二驱动装置驱动移动，滚轮位于弧形板的移动路线上。

8.根据权利要求7所述的贴膜设备，其特征在于，所述的第二驱动装置为气缸，弧

形板与气缸的输出杆连接。

9.根据权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，所述支架板上还安装有收膜轴，

所述收膜轴通过第二转动装置与滚轮连接，滚轮转动可驱动收膜轴转动。

10.根据权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，所述的支架板数目为两个，平

行设置；两个支架板上均设置有导向槽，支撑轴可沿导向槽移动。

11.根据权利要求3所述的贴膜设备，其特征在于，所述驱动装置为电机；电机通

过第一传动装置与支架板连接。

12.根据权利要求11所述的贴膜设备，其特征在于，所述第一传动装置为丝杆，支

架板与丝杠螺纹配合。

13.根据权利要求12所述的贴膜设备，其特征在于，还包括底座板，电机安装于底

座板下表面上，支架板上设置有螺母，螺母与丝杆螺纹配合。

14.根据权利要求11、12或