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证券研究报告
专用设备
2024年06月25日
半导体前道量检测设备行业报告(二):
先进制程关键设备,电子束检测正崛起
评级:推荐(维持)
姚健(证券分析师)杜先康(证券分析师)
S0350522030001S0350523080003
yaoj@duxk01@
最近一年走势相关报告
《半导体前道量检测设备行业报告:重点产品持续突破,国产替代正在加速
6%专用设备沪深300(推荐)*专用设备*杜先康,姚健》——2024-01-19
-1%
-9%
-16%
-23%
-31%
2023/06/262023/09/242023/12/232024/03/222024/06/20
沪深300表现
表现1M3M12M
专用设备-9.3%-12.6%-18.9%
沪深300-3.5%-1.9%-10.0%
重点关注公司及盈利预测
2024/06/24EPSPE
重点公司代码股票名称投资评级
股价20232024E2025E20232024E2025E
300567.SZ精测电子57.470.541.001.45106.4357.4739.63买入
688012.SH中微公司147.512.883.304.2151.2244.7035.04未评级
688361.SH中科飞测52.950.440.630.95120.3484.0555.74未评级
—东方晶源————————
资料来源:iFinD资讯,国海证券研究所未评级公司盈利预测取自iFinD一致预期
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核心提要
u电子束检测是先进制程关键设备
Ø随着集成电路工艺节点减小,缺陷尺寸减小、缺陷密度增加、漏检风险逐渐提升,受益加速电压下的波长优势,电子束检测
技术精度较高,且对于电性缺陷具有独特的识别能力。先进制程及其配套产业链或将成为大基金三期的重点发力方向,半导
体前道量检测设备目前国产化率仅个位数,电子束检测设备是先进制程芯片良率的关键保障,未来有望加速发展。
u国内电子束检测设备市场有望快速发展
Ø我们测算,2024/2025年全球半导体量检测设备市场空间分别为159/196亿美
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