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图解半导体制程概论(1)

第一章半导体导论

█半导体的物理特性及电气特性

【半导体】具有处于如铜或铁等容易导电的【导体】、与如橡胶或玻璃等不导电的【绝缘体】中间

的电阻系数、该电阻比会受到下列的因素而变化。如:

杂质的添加·温度

光的照射·原子结合的缺陷

█半导体的材料

硅(Si)与锗(Ge)为众所周知的半导体材料.这些无素属于元素周期素中的第IV族,其最外壳(最外层的

轨道)具有四个电子.半导体除以硅与锗的单一元素构成之处,也广泛使用两种以上之元素的化合物半导体.

●硅、锗半导体

(Si、GeSemiconductor)

单结晶的硅、其各个原子与所邻接的原子共价电子(共有结合、共有化)且排列得井井有条。利用

如此的单结晶,就可产生微观性的量子力学效果,而构成半导体器件。

●化合物半导体

(CompoundSemiconductor)

除硅(Si)之外,第III族与第V族的元素化合物,或者与第IV族元素组成的化合物也可用于半导体

材料。

例如,GaAs(砷化镓)、Gap(磷化砷)、AlGaAs(砷化镓铝)、GaN(氮化镓)SiC(碳化

硅)SiGe(锗化硅)等均是由2个以上元素所构成的半导体。

█本征半导体与自由电子及空穴

我们将第IV族(最外层轨道有四个电子)的元素(Si、Ge等),以及和第IV族等价的化合物(GaAs、

GaN等),且掺杂极少杂质的半导体的结晶,称之为本征半导体(intrinsicsemiconductor)。

●本征半导体(intrinsicsemiconductor)

当温度十分低的时候,在其原子的最外侧的轨道上的电子(束缚电子(boundelectrons)用于结合

所邻接的原子,因此在本征半导体内几乎没有自由载子,所以本征半导体具有高电阻比。

●自由电子(freeelectrons)

束缚电子若以热或光加以激发时就成为自由电子,其可在结晶内自由移动。

●空穴(hole)

在束缚电子成为自由电子后而缺少电子的地方,就有电子从邻接的Si原子移动过来,同时在邻接的

Si原子新发生缺少电子的地方,就会有电子从其所邻接的Si原子移动过来。在这种情况下,其与自由电子

相异,即以逐次移动在一个邻接原子间。缺少电子地方的移动,刚好同肯有正电荷的粒子以反方向作移动

的动作,并且产生具有正电荷载子(空穴)的效力。

█添加掺杂物质的逆流地导体与电子及空穴

将第V族的元素(最外层的轨道有五个电子)添加在第IV族的元素的结晶,即会形成1个自由电子

且成为N型半导体。

将第Ⅲ族的元素(最外层的轨道有三个电子)添加在第IV族的元素的结晶,即会产生缺少一个电子

的地方且成为P型半导体。

●N型半导体(NtypeSemiconductor)

N型半导体中,自由电子电成

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