半导体工艺实操100问答.docx

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半导体工艺实操

半导体工艺实操100问答

1. 硅片、芯片的概念

硅片:制造电子器件的根本半导体材料硅的圆形单晶薄片

硅片:制造电子器件的根本半导体材料硅的圆形单晶薄片

芯片:由硅片生产的半导体产品

1. 什么是微电子工业技术?微电子工业技术主要包括哪些技术?

微电子工艺技术:在半导体材料芯片上承受微米级加工工艺制造微小型化电子元

微电子工艺技术:在半导体材料芯片上承受微米级加工工艺制造微小型化电子元

器件和微型化电路技术。

包括超精细加工技术、薄膜生长和把握技术、高密度组装技术、过程检测和过程

把握技术等

1. 集成电路制造涉及的5个大的制造阶段的内容

集成电路制造阶段:硅片制备、

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