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《表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量:测量系统校准GB/T42659-2023》详细解读;;;;;;;;该标准适用于采用扫描探针显微镜进行材料表面形貌及性质的研究。;;;;;;4符号;;SPM能够提供原子级别的表面形貌信息,对于研究材料的微观结构和性质具有重要意义。;;扫描单元;;5.2SPM的计量学分类;;5.3SPM结构框图;;影响因素;;;;仪器校准;;;;温度变化可能导致扫描探针显微镜的测量结果产生热漂移,影响测量精度。;;;;;;;;;;;;通过扫描已知几何形状的样品,如网格或点阵,确定扫描范围的中心位置。;;;;包括台阶状、凹槽状和点阵状等多种类型。;;校准证书或报告;;;;;;恒温环境;;;;;;;;9测量不确定度;;;;9.2垂直被测量(高度和深度);;;;;;;;;;;;;;;;;;;;[1]GB/T42659-2023,表面化学分析扫描探针显微术采用扫描探针显微镜测定几何量
测量系统校准[S].
[2]ISO/TS16322-1
2015,Scanningprobemicroscopy--Part1:Instrumentationandoperationalguidance[S].;THANKS
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