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薄膜材料制备原理、技术及应用学问点1
一、 名词解释
气体分子的平均自由程:自由程是指一个分子与其它分子相继两次碰撞之间,经过的直线路程。对个别分子而言,自由程时长时短,但大量分子的自由程具有确定的统计规律。气体分子相继两次碰撞间所走路程的平均值。
物理气相沉积〔PVD〕:物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition,PVD)技术表示在真空条件下,承受物理方法,将材料源——固体或液体外表气化成气态原子、分子或局部电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体外表沉积具有某种特别功能的薄膜的技术。物理气相沉积的主要方法有,真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜,
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