半导体清洗工艺.docx

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蓝宝石衬底清洗工艺

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1、引言

2、污染物杂质分类

3、清洗的设备仪器

4、清洗的工艺流程

5、清洗间的操作标准

6、硫酸溶液的安全使用

付星星

2023-7-14

1,引言

近二十年来,氮化镓基发光二极管〔GaN-basedLEDs〕取得了飞跃式进展,并实现了大规模的产业化生产。GaN-basedLEDs由于其高效、节能、环保等优越性能,将取代现有的白炽灯、荧光灯、卤化灯等而成为主流的固态照明工具。

然而,同质外延生长所用的高质量GaN衬底的价格昂贵且远不能满足大规模生产的需求

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