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半导体常用缩写词汇汇总
EPI外延 PM设备维护与保养
PCW 工艺冷却水 PMC 生产打算与物料掌握PLC 可编程序掌握掌握器
H2氢气 Sb锑
N2氮气 As砷
SiHCl3〔TCS〕三氯氢硅 B硼
PH3磷烷 CMOS互补金属氧化物半导体
HCl氯化氢 CMP化学机械抛光
Hg汞〔水银〕 ESD静电释放
HNO3硝酸 H2O2双氧水
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SPC统计过程掌握 PCM工艺掌握监测MRB特别评审委员会 PCN工艺变更通知单CAB变更评审委员会 ECN工程变更通知单
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