半导体测试技术复习图文.docx

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什么是半导体测试/表征技术：

半导体测试技术是现代微电子和光电子器件不行缺少的“推动器”。半导体表征或更广泛的说材料表征是工艺开发和制造过程中不行缺少的有机组成局部，它被描述成用来确定材料和器件的构造、组分、性质和性能以及它们之间相互关系的一系列相互穿插的活动。

第一章

电阻率(RESISTIVITY

电阻率ρ对于从原材料到器件的每一步来说都格外重要对于硅晶体生长：

z硅晶体生长过程中〔单晶、多晶〕，分凝，生长条件的变化。。。z外延硅片的外延层电阻率格外均匀。

对于器件：

zThedeviceseriesresistance,capacitance,thresholdvol