特种电子级及电子材料气体可研报告.doc

×××目录

TOC\o1-2\h\z\u1、总论5

5

1.2研究结论8

2、市场预测12

2.1国内外市场情况预测12

2.2产品市场预测13

3、产品方案及生产规模14

14

3.2产品方案确定14

3.3产品质量指标14

20

4、工艺技术方案22

4.1工艺技术方案的选择22

4.2工艺流程简述24

4.3消耗定额28

4.3自控技术方案32

4.4主要设备的选择35

4.5工程清洁生产及循环化措施40

4.6标准化40

5、原材料供给及动力消耗41

5.1原辅材料供给41

42

5.3水、电和其他动力供给42

43

6.1建厂条件43

45

7、总图运输、储运和土建46

7.1总图运输46

7.2储运48

7.3土建50

8、公用工程方案和辅助生产设施54

8.1公用工程方案54

8.2辅助生产设施60

8.3仓储60

9、节能61

9.1节能设计原那么61

9.2产品能耗指标及分析61

9.3节能措施61

10、消防64

10.1消防设计原那么和依据64

10.2工程概况64

10.3消防设施和措施64

66

11、环境保护68

11.1厂址与环境现状68

11.2建设工程的主要污染物68

11.3“三废”治理与综合利用措施70

11.4绿化设计71

12、劳动保护与平安卫生72

12.1设计依据72

12.2生产过程中职业危害因素的分析72

12.3职业平安卫生主要防范措施75

13、工厂组织和劳动定员79

13.1工厂体制及组织机构79

13.2生产组织和劳动定员79

13.3人员来源和培训79

14、工程实施方案81

15、投资估算82

82

82

82

82

16、资金筹措83

83

83

84

17.1产品本钱和费用估算84

17.2销售收入和税金估算84

17.3财务分析85

87

18.1综合评价87

18.2研究报告的结论88

1、总论

工程名称、建设单位

工程名称：××特种气体及电子级气体系列产品建设工程

主办单位名称：××

企业性质：股份

法定代表人：××

投资工程性质及类型：新建工程

主办单位的根本情况

××，创立于2012年8月，由××××气体为投资主体，××为技术依托而组建的具有高技术含量的气体公司；公司注册资本1000万元，占地约35亩，员工50名，其中工程技术人员16名。专业从事电子级气体〔电子级氨、氯气、磷烷、乙硼烷、砷烷、氟化物及其它电子级电子类混合气体〕的提纯、储存、销售；同时还有氧、氮、氩、氢气的提纯、储存、销售的公司。

工程提出的背景、投资必要性和经济意义

.1工程背景

电子气体是IC制造过程中必不可少的原料。同时它也广泛应用于光电子、化合物半导体、太阳能光伏电池、液晶显示器、光导纤维制造等其它诸多领域。IC制造的前道工序如外延、化学气相沉积、离子注入、掺杂、刻蚀、清洗、掩蔽膜生成等工艺，几乎都需要不同种类和不同纯度的电子气体，正是这些气体通过不同的工艺使硅片具有半导体性能。

电子气体的纯度直接影响IC的性能、集成度、成品率；电子气体占IC制造材料本钱的约20%，电子气体的价格影响IC的市场竞争力，所以电子气体是IC制造关键材料之一。随着IC制造工艺及技术的开展，芯片尺寸的不断增大，工艺不断提高，特征尺寸线宽不断减小，要求IC制程用的各种电子气体质量纯度、特定技术指标不断提高。目前8英寸以上工艺要求电子气体纯度大都在99.999%〔5.0N〕以上，有害杂质甚至要求到达10-9〔ppb〕。电子气体可以用“超纯”、“超净”来表征。

目前世界IC制造中心不断向中国转移，近几年我国IC增长速度到达每年30%左右，作为IC制造必不可少的关键材料电子气体，其需求总量大大超过人们的预期，到2012年国内电子气体年需求将超过30亿人民币。

我国电子气体整体水平和国外还有一定的差距，8英寸以上IC生产线使用的电子级电子气体几乎全部依赖进口。同快速开展的我国IC产业相比，与之相关的我国电子气体的研究与生产极相对落后。为适应我国集成电路产业的健康稳定可持续开展，提升我国集成电路装备、工艺及材料的自主创新能力和市场的竞争力，解