硅片清洗剂(最新整理版).ppt

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原辅材料介绍-硅片清洗剂;;一﹑硅片清洗剂概述;3.产品主要特性

(1)对硅片切割液﹑研磨液等具有较好乳化﹑分散及清洁作用,且使用寿命长,易于清洗漂洗。

(2)硅片表面不易产生过腐蚀。

(3)中温使用,浓度高、成本低、速度快,效果好。

(4)清洗性能好,清洗后的硅片表面无残留,硅片制绒及光电性能好。

(5)配合超声波,清洗效果更佳。

(6)本产品无磷,易于生物降解,环保性能好。;4.产品的作用机理

配置好准备清洗用的碱性清洗液pH值在12~13,碱性很强,Si片浸人清洗液后,表面会产生大量直径在0.5mm左右的气泡,认为是Si和清洗液中大量存在的-OH发生如下反应:

Si+4OH-→(SiO4)4+2H2(1)

反应持续进行,过程测量药槽中清洗液pH值,相比开始降低0.1-0.3,但是继续测量,pH值将保持在一定水平11.5-12左右不再继续下降,这是因为上步反应生成的(SiO4)4是不稳定的,它在水溶液中继续和水发生如下反应:

(SiO4)4+4H20→Si(OH)4+4OH-(2)

在式(1)中消耗的OH-得到补充,在反应达到平衡后,OH-基本保持不变,如此清洗液的pH值可以保持在一定范围而不持续下降,能够获得稳定的清洗效果.

;另外强碱的皂化作用可以将油脂分解成可溶的物质随清洗液冲走,磷酸盐和硅酸盐都能提供一定的清洁效果。碳酸盐具有弱碱性,pH值在9-9.5,碳酸盐的主要作用是作为缓冲剂,使清洗液的pH值保持在一定范围内。

鳌合剂一方面通过化学反应减少溶液中的自由金属离子,另一方面通过竞争吸附提前吸附在Si片表面从而减少金属在Si片表面的附着。

表面活性剂的性质主要由亲水基团决定,一类是溶解于水后能解离的离子型表面活性剂,另一类是在水中不能解离的非离子型表面活性剂。在半导体清洗中为避免离子沾污通常使用非离子型表面活性剂。表面活性剂的性质主要由亲水基团决定,一类是溶解于水后能解离的离子型表面活性剂,另一类是在水中不能解离的非离子型表面活性剂。

;在硅片清洗中为避免离子沾污通常使用非离子型表面活性剂。在切片过程中,切屑、油污、金属原子等易粘附在Si片表面,清洗液中的表面活性剂一方面能吸附各种粒子、有机分子,并在Si表面形成一层吸附膜,阻止粒子和有机分子污粘附在Si表面上,另一方面可渗入到粒子和油污粘附的界面上,把粒子和油污从界面分离随清洗液带走,起到清洗作用使Si片表面洁净。一般来说在碱性清洗液中加人表面活性剂主要有以下2个作用:

1)降低表面张力

表面活性剂在溶液中的排列情况与浓度有关,只有当浓度达一定值时,才能在溶液表面聚集足够的数量形成单分子膜,从而降低表面张力,增强清洗液的润湿和渗透作用。

2)提高超声效率

其机理是借助于表面活性剂的润湿、渗透、乳化、增溶、分散等作用,使沾污在Si片表面的附着力削弱,再施以加热、超声波等物理方法,使沾污脱离Si片表面,而进人清洗液中被乳化、分散开。

;5.硅片清洗剂的检测指标

;二﹑硅片清洗剂供应商介绍;1.常州贝斯特化工有限公司

1.1公司概况

常州贝斯特化工有限公司建有现代化厂房及办公大楼,占地面积10000平方米,总建筑面积3500平方米,公司职工人数58人,其中技术人员45人,从八十年代至今一直致力于金属与非金属表面清洗的研究及产品开发,为多家大型企业配套提供金属与非金属表面清洗制剂,在金属与非金属清洗领域有着丰富的经验,数项成果通过部级鉴定。现拥有十多个系列,八十多个品种的清洗、光亮、磷化、防锈等表面处理产品,广泛用于汽车、拖拉机、家用电器、电柜、办公家具、灯饰、铝合金、型材、铝幕墙及太阳能硅片等行业。

本公司具有完善的产品质量体系,具有国家颁发的安全生产许可证。

1.2公司生产能力

常州贝斯特具有年产10000吨硅片清洗剂的能力

1.3市场占有率

市场上主要客户有商洛比亚迪、西安华晶、西安隆基、常州亿晶光电等客户。;2.常州君合达克罗涂覆工程技术有限公司

2.1公司概况

君合公司成立于1995年,占地面积一万余平方米,公司建有现代化厂房及办公大楼,配备了标准化实验室两个。生产的前处理剂、清洗剂、金属切削液、除锈剂、达克罗涂液等。君合达克罗拥有德国授权和君合自主研发的mps两套防腐体系,16年来公司始终坚持“诚善为

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