半导体厂GAS系统基础知识解读.docx

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GAS

系统根底学问

概述

HOOK-UP专业认知

一、 厂务系统HOOKUP定义

HOOKUP乃是藉由连接以传输UTILITIES使机台到达预期的功能。HOOKUP是将厂务供给的UTILITIES(如水,电,气,化学品等),经由预留之UTILITIES连接点(PORTORSTICK),藉由管路及电缆线连接至机台及其附属设备(SUBUNITS)。

机台使用这些 UTILITIES,达成其所被付予的制程需求并将机台使用后,所产生之可回收水或废弃物(如废水,废气等),经由管路连接至系统预留接点,再传送到厂务回收系统或

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