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半导体厂GAS系统根底学问
GAS
系统根底学问
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GAS简洁学问根本把握
第一章气体概述
由于制程上的需要，在半导体工厂使用了很多种类的气体，一般我们皆依气体特性来区分，可分为一般气体〔BULKGAS〕与特别气体〔SPECIALTYGAS〕两大类。
前者为使用量较大之气体，如N2、CDA等，因用量较大，一般气体常以大宗气体称之。
后者为使用量较小之气体?一般指用量小,极少用量便会对人体造成生命威逼的气体，如SiH4、NF3等
BulkGas介绍
半导体厂所使用的大宗气体，一般有：
CDA、GN2、PN2、PAr、PO2、PH2、P
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