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ICS71.040.40
CCSG04
表面化学分析X射线光电子能谱
选择仪器性能参数的表述
(ISO15470:2017,IDT)
2024-03-15发布
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会发布
目次
前言…………………………Ⅲ
引言……………………IN
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4缩略语……………………1
5选择仪器性能参数的表述…………………1
5.1分析方法……………1
5.2样品…………………1
5.3系统构成……………1
5.4X射线源………………2
5.5谱仪强度性能和能量分辨……………2
5.6谱仪能量标…………………………2
5.7谱仪强度线性………………………2
5.8谱仪响应函数…………………………2
5.9成像和选区分辨………………………2
5.10荷电中和……………3
5.11变角XPS……………………3
5.12真空环境……………4
参考文献……………5
I
前言
起草。
述》,与GB/T28892—2012相比,除结构调整和编辑性改动外,主要技术变化如下:
a)更改了术语和定义(见第3章,2012年版的第3章);
b)更改了方法2(见5.9.3,2012年版的5.9.3)。
述》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本文件起草单位:厦门荷清教育咨询有限公司、厦门大学。
本文件主要起草人:汤丁亮、李建辉、徐富春、岑丹霞、刘芬、王水菊。
本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为:
GB/T28892—2012:
——本次为第一次修订。
Ⅲ
GB/T28892—2024/ISO15470:2017
引言
全球有多家厂商生产X射线光电子能谱仪。尽管每台仪器的XPS分析方法的基本原理是相同
的,但仪器的具体设计和性能说明的方式各不相同。因此,通常很难比较不同厂商生产的仪器性能。本
文件提供了一个基本项目单,以使所有X射线光电子能谱仪能以共同的方式来表述。本文件无意取代
厂商的说明书,厂商的说明书可以长达30页或更多。本文件目的是使厂商说明书中确定的某些
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