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ModularLithographyLectures,A.R.Neureuther,Sp2004Module:ENC-3Ver:02/08/04
EngineeringCharacterization(ENC)Modules
Purpose:Describehowprocesslatitudeisdetermined
andextendedthroughresolutionenhancement
ENC-1:Exposure-FocusLatitude
ENC-2:Featuresizeandtypeeffects
*ENC-3:Resistexposureanddissolution
ENC-4:Interferenceinresistandtheswingcurve
ENC-5:ResolutionEnhancementTechnology:off-axis
ENC-6:ResolutionEnhancementTechnology:PSM,filter
Eaoduleisa20-25minpresentationofaboutadozenslides.
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Copyright2004,RegentsofUniversityofCalifornia
ModularLithographyLectures,A.R.Neureuther,Sp2004Module:ENC-3Ver:02/08/04
WavesinResist
Thewavelengthintheresistisshorndwavesareattenuated
nnr=+jni
2π
km(nr=+jni)kair(nr=+jni)
λ
air
λ
nr⇒λmairni≤0→attenuation
n
r
Tomatchthelalvariationacrosstheairresistinterface
kmkairkmkair
xxyy
sinθ
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