JB-UN083-1993：集成电路生产厂建设标准.pdfVIP

集成电路生产厂建设标准

1993北京

集成电路生产厂建设标准

(限内部印发)

主编部门:中华人民共和国电子工业部

批准部门:中华人民共和国建设部

中华人民共和国国家计划委员会

施行日期:1993年10月1日

1993北京

关于批准发布《彩色显像管总装厂

建设标准》和《集成电路生产厂

建设标准》的通知

建标(1993)996号

国务院各有关部门，各省、自治区、直辖市、计划单列市计委(计经委)、建委(建设厅):

根据国家计委计标(1987)2323号文和建设部、国家计委(90)建标字第519号文的要求及国家

计委计标(1988)281号文的安排，由机械电子工业部负责编制的《彩色显像管总装厂建设标准》和

《集成电路生产厂建设标准.业经有关部门会审，现批准为全国统一标准予以发布，自一九九三年十

月一日起施行。

本建设标准的管理及解释工作，由电子工业部负责。

中华人民共和国建设部

中华人民共和国国家计划委员会

1993年7月4日

编制说明

《集成电路生产厂建设标准》是根据国家计委计标(1987)2323号文《关于制订工程项目建设标

准的几点意见》、(1988)281号文《关于印发〈一九八人年工程建设项目建设标准制订计划〉的通知》

及建设部和国家计委(90)建标字第519号文《关于工程项目建设标准编制工作暂行办法》的要求，由

原机械电子工业部为主编部门，电子工业部第十一设计研究院为主编单位，华晶电子集团公司、上海

元件五厂、上海无线电十四厂、上海菲利浦半导体公司、上海贝岭电子制造有限公司、华越微电子有

限公司、北京电子管厂、北京东光电工厂、国营天光电工厂为参编单位共同编制的。

在编制过程中，编制组遵循艰苦奋斗、勤俭建国的方针，贯彻节约能源、节约土地、环境保护和

国家发展电子工业的政策，注重推动生产技术进步和提高投资效益，进行了广泛深入的调查研究，总

结了近十几年来的建设经验，分析了国内外大量资料，多次征求各有关部门、单位及专家的意见，最

后由我部召开了全国审查会议，会同有关部门共同审查定稿。

本建设标准共分七章:总则、建设规模与项目构成、工艺与装备、配套工程、环境保护与安全卫

生、建筑与建设用地、主要技术经济指标。

本建设标准在施行过程中，请各单位不断总结经验，积累资料。如发现需要修改和补充之处，请

将意见寄至电子工业部第十一设计研究院(成都840信箱、邮政编码610051)，以便今后修订。

电子工业部

一九九三年六月二十八日

目录

第一章总则……......................................(1)

第二章建设规模与项目构成…………...(2)

第兰章工艺与装备…........….......…...............…...(3)

第四章配套工程…………….........….........……………….................