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集成电路制造工艺教案.docx

集成电路制造工艺教案.docx

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    四川信息职业技术学院

    教 案

    课程编码： 0231124

    课程名称： 集成电路制造工艺课程性质： 必修课

    总学时/学分： 64/4

    授课专业： 微电子技术授课教师：

    使用学期： 2023—2023学年第1学期教研室审批意见准时间：

    课程根本信息

    课程标准名称、批准单位准时间

    微电子技术专业11级《集成电路制造工艺》课程标准；考核方式：形成性考核30%0+终结性考核70%〔开卷〕。电子工程系，2023年8月

    承受教材名称、作 《集成电路制造工艺》，林明祥，机械工业出版社，2023.1者、出版社及版本

    教学参考资料

    教法、学法建议班级 班

    《微电子产业及单晶硅材

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