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该文档的标题为《洁净室及相关受控环境第14部分按粒子浓度评估设备适用性gbt25915142022》,部分内容包括设备适用性的分析以及相关的技术参数和方法该标准适用于空气洁净度要求较高的洁净室,并涵盖了多种类型的设备和方法该标准遵守了相关的国家或地区的标准,并使用了合适的粒子计数器来进行粒子浓度测量此外,该文档还包含了关于第三方测试数据处理示例和参考资料
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