《高纯铜蒸发料》编制说明（预审稿）.docx

高纯铜蒸发料编制说明

1工作简况

1.1任务来源

根据工业和信息化部办公厅《关于印发2023年第一批行业标准制修订和外文版项目计划的通知》（工信厅科函〔2023〕18号）的要求，下达了行业标准《高纯铜蒸发料》（标准项目号为2023-0077T-YS）的制定任务，技术归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，标准起草单位为有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司，计划于2025年完成。

1.2标准制定的必要性

半导体（集成电路、分立器件、LED等）、平板显示（液晶、等离子体、有机发光二极管等）以及太阳能光伏（晶体硅电池、薄膜电池等）等一系列战略新兴产业是电子信息领域发展的重点。高纯金属蒸发料在电子信息领域占据重要的地位，尤其是高纯铜蒸发料，由于其具有突出的导电性、传热性等，成为高端电子器件中的核心关键原材料。在电子工业中，常用作各种互联线、集成电路、液晶显示器等高技术领域。

随着全球分立器件产业向中国的转移和新兴太阳能产业的持续快速发展，高纯铜蒸发料更多地应用在高端产线，包含8寸及以上产线，大陆客户群体如中芯国际、杭州士兰、UMAT等；高纯铜蒸发料在台湾半导体市场需求量最大，客户群如元隆电子、UMC等；同时，国外市场也有大量应用，如新加坡、韩国等。高纯度铜蒸发料在这些国际集成电路厂商中，通过高真空蒸发镀膜工艺，实现大尺寸硅片的背面金属化。充分发挥了高纯度铜的高导电性、导热性和其他一些优异的物理性能，这些厂家的需求量很大。通常高纯铜蒸发料由国外厂家供应，近年来国内研发和生产的高纯铜蒸发料质量不断提升，已经可以替代国外进口产品。随着我国高端集成电路生产线的大规模投入使用，我国高纯铜蒸发料市场将快速增加，预计年增速可达15%以上，经济效益和社会效益可观。

目前我国已有多家企业可提供该类产品，但由于未对高纯铜蒸发料制定相应的标准，也未检索到相应的国际标准或国外先进标准，市场上的高纯铜蒸发料质量、规格多样，验收规则也千差万别，因此需要建立我国高纯铜蒸发料行业标准，可促进现有产品质量的提高，确保产品生产、检验和验收的规范及统一。

目前美国材料协会标准、日本电子协会标准、欧盟标准中均没有高纯铜蒸发料的相关标准，因此高纯铜蒸发料产品标准的制定对该产品技术水平的不断提高将起到一定的推动作用。高纯铜蒸发料的产品标准的建立，将树立我国自主知识产权的标准，补充我国在高纯铜蒸发料领域标准的缺失，填补国内空白，建立符合我国的高纯铜供应产业链，补齐我国在该领域的短板，实现国产高纯铜蒸发料的自主可控。本标准是根据多年产品的生产经验和使用要求，积累一定数据的基础上制定的，

充分考虑了标准的先进性、适用性和可操作性。

1.3起草单位及起草人所作工作

（1）有研亿金新材料有限公司

有研亿金新材料有限公司简称有研亿金。公司属于中关村科技园高新技术企业、“十百千工程”重点培育企业，拥有北京市企业技术中心，2012年公司被评定为“国家级科技创新型示范企业”。公司是中国半导体行业协会支撑分会理事单位、中关村集成电路产业联盟理事单位。经过10多年的发展，有研亿金已成为具备一定产业规模、在微电子领域和医疗器械行业内具有良好影响力的快速成长性企业。有研亿金拥有30多年专业从事稀有和贵金属材料研究、开发和生产经验，获得并积累了一大批国家和部级科研成果，培养造就了大批科研、生产人才。有研亿金是国内率先开展高纯铜蒸发料研究开发的单位，在半导体领域用高纯铜蒸发料制备加工领域具有国内领先的优势。多年来，有研亿金利用具有自主知识产权的高性能金属材料制备技术，开发了独具特色的高纯金属蒸发料及靶材产品，产品涉及面很广，包含各种材质的高纯蒸发料，如Cu、Ag、Al、V、Ni、Pt、Ni及Ni合金、Au及Au合金等，以及各种材质靶材，如Al、Cu、Ti、Co、Ta及Coil、Ni及其合金、Ru及其合金，各种难熔金属靶材等，形成了具有年产值近亿元的产业基地，如先进镀膜用半导体材料、

光学材料、稀土材料、集成电路相关材料、磁存储相关材料等，具备一大批对高纯金属材料制备加工技术具有坚实理论基础和丰富实践经验的专家和技术人员。

（2）宁波江丰电子材料股份有限公司

宁波江丰电子材料股份有限公司成立于2005年，是由国家海外高层次引才计划专家姚力军博士领导的海外高层次归国留学人员组成的创业团队所创立的一家高科技企业，是A股创业板上市公司（股票代码300666），专业从事集成电路、平板显示器和太阳能用超高纯材料及溅射靶材研发、生产和销售。公司先后承担了国家02重大专项、863计划、稀土专项、