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T/CMESXXX—2024
ICS25.040.40
CCSN10
团体标准
T/CMESXXXX—2024
半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通
用规范
Generalspecificationofmaterialschedulingdatafor
semiconductorwafermanufacturingintelligentfactory
(征求意见稿)
I
XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施
中国机械工程学会发布
中国机械工程学会(英文简称CMES)是具备开展国内、国际标准化活动资质的全国性社会团
体。制定中国机械工程学会团体标准,以满足企业需要和市场需求,推动机械工业创新发展,是中
国机械工程学会团体标准的工作内容之一。中国境内的团体和个人,均可提出制、修订中国机械工
程学会团体标准的建议并参与有关工作。
中国机械工程学会团体标准按《中国机械工程学会标准化管理办法》进行制定和管理。
中国机械工程学会团体标准草案经向社会公开征求意见,并得到参加审定会议的3/4以上的专
家、成员的投票赞同,方可作为中国机械工程学会团体标准予以发布。
在本标准实施过程中,如发现需要修改或补充之处,请将意见和有关资料寄给中国机械工程学
会,以便修订时参考。
本标准版权为中国机械工程学会所有。除了用于国家法律或事先得到中国机械工
程学会正式许可外,不许以任何形式复制、传播该标准或用于其他商业目的。
中国机械工程学会地址:北京市海淀区首体南路9号主语国际4座11层
邮政编码:100048电话:010传真:010
网址:联系人:袁俊瑞电子信箱:yuanjr@
T/CMESXXX—2024
目次
前言V
半导体晶圆制造智能工厂物流调度数据通用规范6
1范围6
2规范性引用文件6
3术语和定义6
3.1智能工厂smartfactory6
3.2晶圆lotwaferlot6
3.3物流调度materialscheduling6
3.4系统层调度systemlayerscheduling6
3.5多态作业区调度polymorphicoperationareasscheduling7
3.6系统层重调度systemlayerrescheduling7
4缩略语7
5架构7
5.1物流调度业务过程7
5.2物流调度通用数据架构8
6生产资源要求9
6.1装备资源要求9
6.2通信资源规范要求9
7基础数据模型9
7.1基础数据描述9
7.2产品维数据描述规范9
7.3设备与辅件维数据描述规范12
8状态数据模型13
8.1物料状态信息13
8.2设备状态信息13
8.3物料质检信息16
8.4设备维
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