EDS-theory-new-能量分散光谱仪原理.ppt

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2024-05-26 发布于四川
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EnergyDispersiveSpectrometer(X-rays)能量分散光譜儀

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ELECTRONBEAMSecondaryElectronsBackscatterElectronsTransmittedElectronSpecimenCurrentSAMPLECathodoluminescence(Visiblelight)CharacteristicX-raysTheoryofEnergyDispersiveSpectrometer

TheoryofEnergyDispersiveSpectrometer特性X-光(CharacteristicX-rays)產生機構1.電子或X-光激發原子內層電子2.外層電子填補空缺3.釋放出能量4.此能量激發出高階能階電子作為試片元素分析之依據

TheoryofEnergyDispersiveSpectrometerKLMNeeeCu-Kaline8.046kevCu(29)atom(原子)

TheoryofEnergyDispersiveSpectrometerKLineLLineMLineNLineOLineK系列X線L系列X線M系列X線KαKβLβMβLαMα

TheoryofEnergyDispersiveSpectrometerKlineenergyproduction

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TheoryofEnergyDispersiveSpectrometer連續X-光(CONTINUNEX-RAY)-入射電子受試片原子的庫侖電場作用，減速而損失動能，損失的能量以X-光輻射出來影像因素-入射電子能量增加連續X-光強度升高-重元素試片，輻射之X-光較強

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AtomicnucleusContinuousX-rays（background）ＥｌｅｃｔｒｏｎｂｅａｍｅｘｃｉｔａｔｉｏｎＣｏｎｔｉｎｕｏｕｓＸ-ｒａｙａｎｄｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃＸ-ｒａｙSpectrumpeakCharacteristicX-rayElectronbeamElectronbeamBackgroundAtomicnucleus

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