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ICS31.030
CCSL90
中华人民共和国国家标准
GB/T43798—2024
平板显示阵列用正性光阻材料
测试方法
Testmethodofpositivephotoresistformanufacturingofflatpanel
displayarray
2024-03-15发布2024-10-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
GB/T43798—2024
目次
前言Ⅲ
1范围l
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4测试条件2
4.1环境条件2
4.2试剂材料2
4.3其他配套2
5测试项目2
5.1胶膜云纹2
5.2曝光量4
5.3曝光测试观察图形完整性6
5.4关键尺寸(CD)6
5.5残膜率7
5.6固含量8
5.7液体颗粒计数9
5.8粘度10
5.9相对密度11
5.10水分质量分数11
5.11金属杂质含量11
6试验报告13
I
GB/T43798—2024
前言
本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本文件起草单位：京东方科技集团股份有限公司、上海彤程电子材料有限公司、中国电子技术标准
化研究院、阜阳欣奕华材料科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、福建泓光半导体材料有限
公司。
本文件主要起草人：杨澜、程龙、吴怡然、赵俊莎、曹可慰、李琳、吴京玮、岳爽、李璐、戈烨铭、何珂、
曾成财、袁晓雷。
Ⅲ
GB/T43798—2024
平板显示阵列用正性光阻材料
测试方法
1范围
本文件描述了平板显示阵列用正性光阻材料的测试方法
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