温度检测技术及发展现状.pdf

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温度检测技术及发展现状

1)薄膜温度传感器

在传感器结构改进方面,出现了薄膜温度传感器,它是随着薄膜技术的成熟而发

展起来的新型微传感器,其敏感元件为微米级的薄膜,具有体积小、热扰动小、

热动态响应时间短、灵敏度高、便于集成和安装的特点,并且具有耐磨、耐压、

耐热冲击和抗剥离的优良性能,特别适合于微尺度或小空间温度测量、表面温度

的测量等场合.近年来发展的陶瓷薄膜热电偶,可以测量更高的温度,克服了金属

薄膜热电偶的一些催化效应和冶金效应等缺点,在高温表面温度测量领域应用更

为广泛。

2)热电偶材料性能的提高

在热电偶丝

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