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本发明公开一种用于半导体的金属陶瓷封装治具,其在上模座靠近下模座的一侧表面且沿上模具的周向外壁设置有金属陶瓷凸条,下模具的开口端设置有一具有沉槽的限位环,位于下模座周向外壁的一侧设置有一气泵,气泵分别连接有一制热箱、制冷箱,该气泵与制热箱之间设置有第一阀门、与制冷箱之间设置第二阀门,气泵相背于下模座的一侧设置有一安装有第三阀门的出气管,气泵的出气端与一位于下模座内部的第一导气管连通,沿下模槽的周向外壁设置有一环形气管,相邻两个环形气管之间相互连通,第一导气管与其中一个环形气管连通。本发明在实现上
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790334A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202211501143.1
(22)申请日2022.11.28
(71)申请人龙具硬质合金(苏州)有限公司
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