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本申请涉及功率半导体电力电子器件技术领域,提供了一种具有栅氧介质层的鳍型异质结场效应晶体管,包括:漏极金属层;衬底层设置于漏极金属层上方;鳍型漂移层设置于衬底层背离漏极金属层的一侧,且鳍型漂移层的凸出部远离衬底层;第一导电层的第一部分设置于鳍型漂移层上,第一导电层的第二部分覆盖凸出部的两个侧壁;屏蔽层设置于第一导电层的第一部分上,并与第一导电层的第二部分接触;栅氧介质层的第一部分设置于屏蔽层上,栅氧介质层的第二部分覆盖第一导电层的第二部分;栅金属层设置于栅氧介质层上;钝化层覆盖栅金属层,且部分与
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790569A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202311738402.7
(22)申请日2023.12.15
(71)申请人重庆大学
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