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本发明涉及一种用于ESD保护的低容低钳位纵向SCR器件，包括N型硅衬底，N型硅衬底的正面形成有P型外延层，背面形成有背面金属层，在其内部还设有深槽金属连接孔；深槽金属连接孔内均填充有金属铝，且其一端与背面金属层相接，另一端深入P型外延层内，形成短路孔结构；P型外延层上设置有N型外延层，P型外延层和N型外延层之间设置有N型埋层；N型外延层上形成有P型重掺杂区和隔离深沟槽；隔离深沟槽依次穿过N型埋层和P型外延层，深入至N型硅衬底内；P型重掺杂区与正面金属层相接；P型重掺杂区和N型外延层上形成有介质层
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117790556A
(43)申请公布日2024.03.29
(21)申请号202410005638.8H01L27/02(2006.01)
(22)申请日2024.01.
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