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《电子工业干净厂房设计标准》
单向流和混合流干净室 (区)的的噪声级(空态)不该大于65dB(A)，非单向流干净室(区)的噪声级(空态)不该大于60dB(A)。
1按火灾危〔wei〕险性分类，甲、乙类的房间与相邻的生产区段或者房间之间，或者有防火分隔要求时，应设隔墙；
物料净化用室与干净室(区)之间应设置气闸室或者传递窗。
干净室(区)内设置真空泵时，应符合以下规定：
利用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统；
对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过爆炸下限的20%时，应设尾气处置装置，在排入排气系统前应去除或者稀释可燃
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