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本发明提供一种高精度穆勒矩阵椭偏仪的控制方法和装置,通过控制器控制椭偏仪的两个电机运行到设定转速后,获取两个电机的实时位置和待测样件的光强信号,并计算两个电机原点之间的夹角θ1同步值,对系统进行校准;当椭偏仪的系统参数调整后,再次计算两个电机原点之间的夹角θ2同步值,根据两次的夹角值,可计算第二补偿器安装方位角的差值,进而根据校准的第二补偿器的安装方位角,得到系统参数调整后的第二补偿器的安装方位角,对系统参数进行修正补偿。在实际生产环节中,为了将不同椭偏仪进行匹配调试,需要反复进行系统参数修正补
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117760979A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311578083.8
(22)申请日2023.11.22
(71)申请人武汉颐光科技有限
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