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本发明公开了一种分析高纯四氟化碳中微量一氧化氮气体的气相色谱阀路系统及分析方法,阀路系统采用单阀两柱阀路系统,包括1个十通阀、1个定量环、2根色谱柱、1个检测器,十通阀(1)的第①接口通过第二稳压阀(10)连接载气源(5);第②接口通过第二色谱柱(7)连接检测器(8);第③接口和第⑨接口之间连接有第一色谱柱(6);第④接口通过第一稳压阀(9)连接载气源(5);第⑤接口和第⑧接口之间连接有定量环(2);第⑥接口连接样品出口(4);第⑦接口连接样品入口(3);第⑩接口连接放空口(11)。该阀路系统解
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117761224A
(43)申请公布日2024.03.26
(21)申请号202311814072.5
(22)申请日2023.12.27
(71)申请人昊华气体有限公司
地址4710
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