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2023年梯度飞片项目计划设计方案.docx

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    梯度飞片项目计划设计方案

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    梯度飞片项目计划设计方案

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    TOC\h\z26654序言 3

    9428一、工艺说明 3

    24655(一)、技术管理特点 3

    26099(二)、梯度飞片项目工艺技术设计方案 4

    17915(三)、设备选型方案 5

    18300二、梯度飞片项目建设背景及必要性分析 7

    16605(一)、梯度飞片项目背景分析 7

    29434(二)、梯度飞片项目建设必要性分析 8

    31250三、梯度飞片项目绩效评估 10

    25581(一)、绩效评估指标 10

    25254(二)、绩效评估方法 11

    17

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